备品备件
太阳城娱乐可为半导体、泛半导体领域的客户提供适用于4-12英寸不同规格太阳城娱乐城的备品备件,这些备品备件可应用于刻蚀机(ETCH)、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)、清洗机(WET)、立式/卧式炉管(FURNACE)等太阳城娱乐城。此外,还可为客户提供气体流量控制器(MFC)、尾气处理设备(Scrubber)、射频电源(RF Generater)和匹配器(Match)等备品备件。
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